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微电子机械系统 MEMS

微电子机械系统微电子机械系统

从2000年开始，我们加大了对微电子机械系统领域研究的投入。经过一系列的研发改进，CSM的测试仪器为微电子机械系统领域的测试提供有效的工具。

适用领域：

  • 多晶硅微型百页窗的摩擦系数
  • Bonding Pads的硬度与弹性模量
  • Micro-Slit上反射性镀膜的失效研究
  • 微型加速器的恒定力屈服测试
  • 打印机压头的压力失效研究
  • 微型开关的刚性与位移测试
  • 等等

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