ウルトラナノインデンテーションテスタ (UNHT)

このナノインデンテーション技術は、DSI（Depth Sensing Indentation）法として知られ、計装化押し込み試験中に負荷と除荷時の押し込み深さを連続的に測定・モニタリングするものです。この技術はナノ領域での材料の機械的評価、特に硬さや弾性率を評価するのに広く使われてきました。与える押し込み深さ（nm）と荷重（μN）との連関、連続的に計測された押し込み深さと印加荷重の極めて高い確かさが、この手法だけが実現できる特徴です。市場にある計装化ナノインデンタの中でも極めて低い熱ドリフトを実現することによって、この計測データの確かさと精度が確保されています。

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特徴

• アクティブ・トップ・リファレンス（特許）
  リファレンスは着脱可能で、ボールやピンなど様々な形式をとることができます。リファレンス軸はピエゾアクチュエータと荷重センサを備え、試料への付与する微小荷重を制御できます（サーボループ）。
• 熱ドリフトがありません
  ヘッドは非膨張ガラスセラミックス材ZeroDur®で構成されているため、電子システムの熱ドリフトは1ppm／℃以下です。
• 高荷重に耐えるフレーム剛性
  大理石製の試料台（プラットフォーム）、非膨張セラミックス材ZeroDur®や独自技術アクティブ・トップ・リファレンスの採用により高剛性です。
• 独立した押し込み深さセンサと垂直荷重センサ
  真の押し込み深さ・垂直荷重制御モードのための高分解能静電容量センサ。
• 超高分解能と超低ノイズフロア
  押し込み深さ分解能：0.001nm、ノイズフロア（最終的に装置にのってくるノイズレベル）：0.1nm以下。
  垂直荷重分解能：0.01μN、ノイズフロア：0.5μN。
• 完全な位置の同期
  ウルトラナノインデンテーションテスタは、高品質光学ビデオマイクロスコープやオプションの原子力間顕微鏡（AFM）により完全な位置の同期が可能です。ウルトラナノインデンテーションテスタのヘッドと、光学マイクロスコープおよびAFM対物レンズの組み合わせにより、高いフレキシビリティーと使い勝手の良さ、ナノメータスケールでの正確な3次元イメージングを可能にしています。
• ISO 14577およびASTM E2546に適合
  CSM Instrumentsでは、ISO規格およびASTM規格に完全に準拠した試験測定装置および計測法を提供いたします。