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2000年以降、CSM Instruments は、MEMS分野におけるお客様のニーズにお応えしてきました。当社の試験測定装置は、お客様の要求に適合するよう、進化してきました。いまやMEMSの特性評価は、CSMの測定装置が標準機になっています。
以下は、当社が取り組んできたMEMSアプリケーションの一部です。
- ボンディングワイヤの硬さと弾性率（ヤング率）
- マイクロスリット反射膜の測定
- Force constant as a function of position of accelerometers
- 加速度ピックアップの位置の機能としての力定数
- マイクロスイッチの剛性と変位特性
- ポリシリコン・マイクロシャッターの摩擦
MEMS評価でお客様が必要としていることを、ぜひ当社にお聞かせください。
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