原子間力顕微鏡 (AFM)

原子間力顕微鏡（AFM）や走査プローブ顕微鏡（SPM）は、ナノスケールの表面形状（表面トポグラフィー）を計測する、極めて正確で多用途な技術です。たわみが小さい（高剛性な）カンチレバーの先端に搭載された高精細なセンサ・チップが、測定試料の表面に接触して測定します。センサ・チップは測定試料表面を縦横に走査し、高密度にラインスキャンを行います。これにより高解像度な表面の3次元像を取得します。この技術は、スクラッチ痕やナノインデンテーション痕のイメージングや、その他ナノスケールの表面の特徴のイメージング、さらには正確な表面形状測定に、特に有用です。

特徴

• 光学顕微鏡と走査プローブ顕微鏡（SPM）を組み合わせることで、表面特性評価の定量的な可視化に、新たな可能性を拓きます
• 大きな測定試料の観察したい箇所の構造を拡大、サブナノメータの分解能で観察できる光学測定
• マイクロ・ナノ構造の分析
• CD（クリティカル・ディメンション：MOSFET のゲート・配線幅などにおける最小寸法）測定
• エッチングされた表面構造や表面粗さの測定
• コーティングや薄膜のプロファイル分析
• 低コントラストの欠陥や物質の測定
• 壊れやすい生体組織の特性評価や材料・表面研究における多くのアプリケーションでの評価に利用できます

オプション

• 非接触モード
• 摩擦力顕微鏡
• 磁気力顕微鏡
• パルス力モード
• 静電気力顕微鏡
• 走査型サーマル顕微鏡
• 電流検出型顕微鏡
• 液中観察用セル