Ritzprüfung

CSM Ritzprüfer sind spezielle Geräte zur Untersuchung der oberflächenbezogenen mechanischen Eigenschaften dünner Schichten bzw. Beschichtungen; beispielsweise bezüglich Schichthaftfestigkeit, Bruch oder Verformung. Ritzprüfgeräte quantifizieren das Verbundsystem aus Schicht und Substrat mittels kritischer Lasten, Reibwerten und ergänzenden Messdaten. Durch die Vielzahl der verfügbaren Methoden wird es so zu einem sehr wertvollen und vielseitigen Werkzeug für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle.

Grundlage ist die Erzeugung eines kontrollierten Kratzers mittels einer scharfen Spitze auf einer wählbaren Prüffläche. Die Prüfspitze (bestehend meist aus Diamant oder Hartmetall) bewegt sich dabei mit konstanter, stufenförmiger oder progressiver Last relativ zur Oberfläche. Ab einer bestimmten Last, der sogenannten kritischen Last, wird die Schicht versagen. Diese kritischen Lasten werden sehr präzise mittels eines am Lastaktuator befestigten Schallemissionssensors (MST & RST) erfasst. Meist wird auch eine optische Auswertung mit dem eingebauten Mikroskop vorgenommen. Die kritischen Lasten werden herangezogen, um die Haftfestigkeitseigenschaften verschiedener Schicht-Substrat-Verbunde zu vergleichen. Als Messdaten werden neben der Normalkraft, die Schallemission (im Ultraschallbereich), die Querkraft (Reibwert) und die Eindringtiefe erfasst. All diese Daten ergeben sozusagen den mechanischen Fingerabdruck eines Schichtsystems.

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