Micro Electronics Mechanical System (MEMS)

Micro Electronics Mechanical SystemMicro Electronics Mechanical System

Seit 2000 haben wir uns im Bereich der MEMS vertieft. Unsere Messinstrumente wurden an die neuen Anforderungen angepasst und die Charakterisierung von MEMS ist zum Standard bei CSM geworden. 

Wir charakterisieren:

  • die Reibung bei Polysilizium Mikroverschlüssen
  • die Härte und den E-Modul von Boning-Pads
  • die Delaminierung von reflektierenden Mikro-Spalt Beschichtungen
  • Kraftkonstanten als Funktion der Position von Beschleunigungssensoren
  • Risse in Prüfköpfen bei Druckprüfverfahren
  • Steifigkeits- und Auslenkungscharakteristik von Mikroschaltern
  • etc.

 

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